中微公司首台 8 英寸 CCP 刻蚀机 Primo AD-RIE 200 顺利

IT之家 6 月 15 日消息 今天，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）首台 8 英寸甚高频去耦合反应离子（CCP）刻蚀设备 Primo AD-RIE 200 顺利付运客户生产线。

IT之家获悉，Primo AD-RIE 200 是中微公司自主研发的新一代 8 英寸甚高频去耦合反应离子（CCP）刻蚀设备。基于已被业界广泛认可的 12 英寸 CCP 刻蚀设备的成熟工艺与特性，Primo AD-RIE 200 在技术创新和生产效率方面都有了进一步提升，能够满足不同客户 8 英寸晶圆的加工需求。

为提高生产效率，Primo AD-RIE 200 刻蚀设备可灵活配置多达三个双反应台反应腔（即六个反应台）。此外，Primo AD-RIE 200 提供了可升级至 12 英寸刻蚀设备系统的灵活解决方案，以满足客户生产线未来可能扩产的需求。

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