中微公司：Prismo UniMax MOCVD 设备订单超 100 腔，可

IT之家 12 月 9 日消息，今日中微公司宣布，旗下的 Prismo UniMaxMOCVD 设备订单超 100 腔，迎来新的里程碑。MOCVD 意为一种新型气相外延生长技术，可以在衬底上生成金属有机化合物的化学气相沉淀。

中微公司的 Prismo UniMaxMOCVD 设备于今年 6 月发布，主要用于氮化镓基 Mini LED 外延片的量产，成品可用于制造电视、笔记本、平板电脑等显示屏。

Prismo UniMaxMOCVD设备专为高性能 Mini LED 量产而设计，通过创新的多区温度调节系统，能精确控制托盘局部区域温度，有助于更大程度上提升 LED 波长均匀性。此外，优化的喷淋头设计实现了更好的均匀性和产出稳定性，新一代直流电源进一步提升了电能转化效率。

这款设备配备 785mm 大直径石墨托盘，通过石墨托盘的不同设计，最多可以同时加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸外延晶片，能提高产能并有效降低 Mini LED 生产成本。Prismo UniMax® 在同一系统中可配备多达 4 个反应腔，每个反应腔都可以独立控制。

IT之家了解到，Prismo 系列产品还包括 Prismo D-BLUE、Prismo A7 和 Prismo HiT3，首款设备于 2013 年正式发布发布，目前中微公司的 MOCVD 设备在行业内主要的 LED 生产线上全面投入量产。