中国芯片设备，静待一个大消息

8月初，路透社抛出一条让全球半导体圈炸锅的消息：三星电子和SK海力士，正在评估中国中微公司的芯片制造设备，考虑将它装进自己在中国的晶圆厂里，甚至言之凿凿，说两家韩国存储芯片巨头大约两年前就已经开始秘密测试中微的刻蚀设备。

虽然三星随后紧急否认“从未考虑”，SK海力士也一言不发地拒绝置评——但没人能否认一个事实：已经打入台积电体系的中微，其实早已拿到了全球市场的通行证。

中国向全球顶级芯片厂提供诸如刻蚀机这样的高精尖半导体设备，这在过去是根本不可想象的事情，但现在，它已经是事实。

刻蚀机

“看来刻蚀机比原子弹还复杂，我们能不能自己把它造出来？”

2004年3月，上海的国际半导体设备与材料展览暨研讨会(SEMICON CHINA 2004)上，已经请到张汝京创造了中芯国际奇迹的江上舟，遇到了又一位世界级的半导体大人物——时任应用材料公司资深研发副总裁，也在全球刻蚀机领域响当当的尹志尧。

而且，他们还有一层特殊的关系，都是名校北京四中的校友。

当时江上舟已是上海市政府副秘书长，毕业于清华大学无线电系的他，正千方百计地推动上海芯片产业的发展，并把目光聚焦到比晶圆厂更底层的半导体设备之上。因而，遇到尹志尧的他，就像是久旱逢甘霖，一见上，就开门见山，直抒胸臆。

“看来刻蚀机比原子弹还复杂，我们能不能自己把它造出来？”

尹志尧在硅谷摸爬滚打了二十年，参与领导过国际几代等离子体刻蚀机的研发，手握60多项专利，是公认“硅谷最成功的华人之一”，不但年薪优渥，每年还有堪称巨大的研发经费可以调用。而中国大陆的半导体产业相比美国几乎可以用荒芜来形容，以当时条件看，放弃美国的优越条件回国创业，而且是在如此高风险与难度领域创业，对尹志尧来说，怎么都不划算，何况，尹志尧当时已经60，是可以享受生活的人了。

但三件事让尹志尧下定了决心，一是其家族几代都是留学然后回国报效的，他本身就希望延续这种精神回国创业，二是江上舟的一句话深深打动了他：我是个癌症病人，只剩下半条命，哪怕豁出命去，也要为国家造出刻蚀机。我们一起干吧！最后就是已经率先回来帮助中国芯片发展的张汝京告诉他，中芯国际可以做他的第一个客户。

2004年5月，尹志尧回到上海创办了中微半导体——没从美国带回一张图纸，一份技术资料，仅靠装在自己和同事们脑袋里的知识，上海市政府投入的5000万元人民币启动资金，团队自筹的150万美元就踏上了国产刻蚀机的征程。

即便在美国，从零开始办一家刻蚀机设备企业都是超级挑战，何况是在中国。但客观上的困难，有了主观上的更多努力，情况就变得好很多。初期的资本很快花光了，更多来自主观的支持帮助渡过了难关，在江上舟牵线下，尹志尧跟时任国家开发银行行长陈元沟通了情况。听说他们要造刻蚀机，陈元兴奋地说：“这东西，我做梦都想做，一定要支持。”然后中微得到了5000万美元无息贷款，研发才算真正跑了起来。